水冷型冷水機(jī)

 用于氣體的降溫與冷卻，也可選擇進(jìn)行升溫與恒溫控制。氣體通常為干燥的壓縮空氣或氮?dú)狻鍤獾榷栊詺怏w。進(jìn)氣溫度可以是常溫的，也可以是高溫的，經(jīng)過氣體制冷機(jī)降至目標(biāo)低溫。針對(duì)于晶圓測(cè)試載冷臺(tái)的應(yīng)用來說，氣體制冷機(jī)相比較于傳統(tǒng)的液冷有諸多優(yōu)勢(shì)，如使用方便、安全衛(wèi)生、成本低、無異味等。客戶可根據(jù)氣體處理流量及溫度來選擇設(shè)備。系統(tǒng)主要由制冷系統(tǒng)、換熱系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷。換熱系統(tǒng)包括高效換熱器、連接管路、保溫等組成。控制系統(tǒng)采用西門子PLC，自適應(yīng)PID控制算法，面對(duì)不同的使用環(huán)境和負(fù)載，無需改變參數(shù)，即可實(shí)現(xiàn)最佳的溫度控制。高清觸摸屏顯示，完善的安全保護(hù)措施，設(shè)置有多種安全保護(hù)機(jī)制以確保系統(tǒng)的安全運(yùn)行。控制器物聯(lián)網(wǎng)，可在手機(jī)APP上進(jìn)行遠(yuǎn)程查看數(shù)據(jù)、報(bào)警信息和遠(yuǎn)程操控；可選配冷量回收裝置，提升能效，避免低溫冷凝水，通過機(jī)組自身的制冷，將進(jìn)入裝置內(nèi)的干燥氣體進(jìn)行降溫及恒溫處理，滿足工藝條件要求。

設(shè)備特點(diǎn)

快速降溫：自主設(shè)計(jì)的高效換熱系統(tǒng)，常溫的干燥壓縮空氣或者氮?dú)馔ㄈ氲?/span>PTLQ氣體制冷機(jī)后，出來的氣體即可達(dá)到目標(biāo)低溫溫度。

一體式結(jié)構(gòu)：在工廠已將系統(tǒng)整體組裝完畢，用戶只需要將電源、氣體管路、冷卻水管路安裝完畢即可開機(jī)運(yùn)行。

防爆設(shè)計(jì)：可根據(jù)客戶實(shí)際使用需求，定制各種類型的防爆設(shè)計(jì)。

高效換熱系統(tǒng)：蒸發(fā)器采用板式換熱器部分產(chǎn)品可能會(huì)采用翅片管式換熱器，換熱效率高，結(jié)構(gòu)緊湊，耐壓高，承壓能力大于2.5MPa。

控制重復(fù)性：基于高級(jí)動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，每次都能實(shí)現(xiàn)一致的控制結(jié)果，大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性。

控溫系統(tǒng)：自主開發(fā)的溫度控制模塊，改變控制設(shè)定的方法，能夠盡快的響應(yīng)過程中系統(tǒng)的滯后，得到最小的溫度過沖。控制由兩組PID（每組PID是可變的）控制回路構(gòu)成，這兩組控制回路成為主回路和從回路，主回路的控制輸出作為從回路的設(shè)定值。系統(tǒng)采用帶有前饋PV，主控回路的PID運(yùn)行結(jié)果的輸出與前饋PV信號(hào)復(fù)合后作為主控回路的設(shè)定值，通過這樣對(duì)溫度變化進(jìn)行梯度控制，保證系統(tǒng)的溫度精度。

水冷型冷水機(jī)